Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung
Die Herstellung dünnster Schichten aus der Gasphase kann durch die Schwingquarzmesstechnik überwacht, untersucht und kontrolliert werden. Die Optimierung und Anwendung dieser Technik für die Atomlagenabscheidung (kurz ALD) bildet den Mittelpunkt des vorliegenden Fachbuchs von Martin Knaut. Er analysiert und beleuchtet darin die Grundlagen der Schichtdickenmessung mit Schwingquarzen hinsichtlich der Besonderheiten bei der Verwendung in einem […]