ALD-Verfahren Tantalnitrid-basierter Elektroden – neues Buch zeigt neue Techniken in der Atomlagenabscheidung
Diese Dissertation beschäftigt sich mit der Entwicklung von Verfahren zur Atomlagenabscheidung (ALD) von Tantalnitrid-basierten Elektroden in Grabenstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen. Auf Basis von Simulationen sowie von theoretischen Betrachtungen zum Phasensystem und zum Stand der Technik im Bereich der ALD wurden zwei Verfahren zur Herstellung von Tantalnitrid-basierten Dünnschichtelektroden entwickelt. Beide Verfahren liefern jeweils Schichten mit hoher […]