SENTECH im regen Erfahrungsaustausch mit Ellipsometer-Nutzern auf dem 8. Ellipsometrie Workshop (WSE 2014) in Dresden

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Dieses dreitägige Event wurde vom Leibniz Institute für Polymerforschung in der Dreikönigskirche in Dresden organisiert. Dabei wurden die neuesten Entwicklungen bezüglich Applikation und Forschung im Bereich Ellipsometrie vorgestellt und diskutiert. Im Focus standen dabei unter anderem Untersuchungen im Zusammenhang mit der Auswertung der Müller-Matrix. In diesem Trend bieten wir eine smarte Option zur Bestimmung aller […]

ALD-Verfahren Tantalnitrid-basierter Elektroden – neues Buch zeigt neue Techniken in der Atomlagenabscheidung

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Diese Dissertation beschäftigt sich mit der Entwicklung von Verfahren zur Atomlagenabscheidung (ALD) von Tantalnitrid-basierten Elektroden in Grabenstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen. Auf Basis von Simulationen sowie von theoretischen Betrachtungen zum Phasensystem und zum Stand der Technik im Bereich der ALD wurden zwei Verfahren zur Herstellung von Tantalnitrid-basierten Dünnschichtelektroden entwickelt. Beide Verfahren liefern jeweils Schichten mit hoher […]