Dieses dreitägige Event wurde vom Leibniz Institute für Polymerforschung in der Dreikönigskirche in Dresden organisiert. Dabei…
Continue ReadingSchlagwort: duennschicht
ALD-Verfahren Tantalnitrid-basierter Elektroden – neues Buch zeigt neue Techniken in der Atomlagenabscheidung
Diese Dissertation beschäftigt sich mit der Entwicklung von Verfahren zur Atomlagenabscheidung (ALD) von Tantalnitrid-basierten Elektroden in…
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