atomlagenabscheidung - InnovationsIntelligenz

ALD-Verfahren Tantalnitrid-basierter Elektroden – neues Buch zeigt neue Techniken in der Atomlagenabscheidung

Diese Dissertation beschäftigt sich mit der Entwicklung von Verfahren zur Atomlagenabscheidung (ALD) von Tantalnitrid-basierten Elektroden in…