Dieses dreitägige Event wurde vom Leibniz Institute für Polymerforschung in der Dreikönigskirche in Dresden organisiert. Dabei wurden die neuesten Entwicklungen bezüglich Applikation und Forschung im Bereich Ellipsometrie vorgestellt und diskutiert. Im Focus standen dabei unter anderem Untersuchungen im Zusammenhang mit der Auswertung der Müller-Matrix. In diesem Trend bieten wir eine smarte Option zur Bestimmung aller 16 Müller-Matrix-Elemente für die SENresearch Produktfamilie an.
Darüber hinaus beteiligte sich SENTECH auch in diesem Jahr wieder mit zwei Postern am Ellipsometrie Workshop 2014. Das erste Poster beschrieb die Einbindung der Dünnschichtmesstechnik in den SENTECH Plasma-Anlagen, speziell in den ALD-Systemen. Das Schichtwachstum einzelner ALD Zyklen wird mittels unserer Laser- oder spektroskopischen Ellipsometer aufgelöst. So können Abscheidungsprozesse in situ kontrolliert und optimiert werden. Auf dem zweiten Poster stellten wir die Ergebnisse unserer Messungen an Graphen-Flakes vor. Die erstaunliche Genauigkeit und Auflösung ermöglicht es die Stufen einzelner Monolagen sichtbar zu machen.
Das gute Feedback, welches wir auf diesem und vielen anderen Veranstaltungen von unseren Nutzern bekommen, motiviert uns, auch in Zukunft die Qualität unserer Geräte und unseren besonders umfassenden Service beizubehalten und zu optimieren.

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