„MicroScope WLI“ heißt das neue optische Oberflächenmessgerät aus dem Hause Fries Research & Technology (FRT). Auf Basis eines optischen Mikroskops bietet es ein vollwertiges Weißlichtinterferometer für zerstörungsfreies Messen. Damit lassen sich 3D-Messungen an Oberflächen mit extremer Höhenauflösung schnell und einfach durchführen. Konzipiert ist es insbesondere für F&E-Abteilungen und Universitäten.

Leistungsstarke Hard- und Software
Einfach zu bedienen, universell einsetzbar und extrem zuverlässig – das sind die Eigenschaften des neuen MicroScope WLI von FRT: Ein optisches Mikroskop mit einem 4-fach Objektivrevolver und einem Weißlichtinterferometer. Das Messgerät ist klein, kompakt und flexibel einsetzbar. Besonders für F&E-Abteilungen und Universitäten ist es – dank des überschaubaren Investments – sehr geeignet und liefert zuverlässig Daten zu Rauheit, Stufenhöhe, Profilen und 3D-Strukturen. Die interferometrischen Messungen erfolgen mit extremer Höhenauflösung und, je nach Objektiv, mit entsprechend guter lateraler Auflösung.

Das MicroScope WLI verfügt über einen motorisierten Tisch mit 100 x 100 Millimetern Verfahrweg. Der axiale Messbereich beträgt 400 µm. Der 4-fach Objektivrevolver ist mit einem piezoelektrischen Objektivversteller für höchste Genauigkeit ausgestattet. Durch eine Auswahl an Objektiven können verschiedene Messfeldgrößen und Auflösungen realisiert werden. Im Lieferumfang enthalten ist ein PC mit der Software Mark III für Profil- und Topographieanalysen, Rauheitsanalysen, Stufenhöhen sowie zahlreichen 2D- und 3D-Filter- und Auswerteroutinen. Die durchschnittliche Messdauer beträgt dabei nur wenige Sekunden.

Zusätzlich zu den Interferometer-Objektiven können noch drei übliche Mikroskopobjektive montiert werden. Dies spricht besonders Anwender an, die auch sonst mit optischen Mikroskopen arbeiten, so z.B. Universitäten, biologische Labors, medizintechnische Labors oder ähnliche.

Prinzip der Weißlichtinterferometrie
Bei der Weißlichtinterferometrie werden Interferenzbilder mit einer CCD-Kamera aufgenommen, die aus der Überlagerung des Lichts vom Messobjekt mit dem Licht, das an einem Referenzspiegel reflektiert wird, entstehen. Für eine Topographiemessung wird die z-Position des Objektivs in kleinen Schritten verstellt und an jeder Position ein Interferenzbild aufgenommen. Man erhält einen Bildstapel, aus dem die Höhendaten berechnet werden. Durch die Verwendung der Weißlichtquelle können Oberflächen mit der für dieses Verfahren bekannten, sehr guten Höhenauflösung erfasst werden. Es eignet sich zudem gleichermaßen für glatte und raue Oberflächen sowie zur Erfassung von Stufensprüngen.

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