Die Eindhoven University of Technology (TU/e) hat eine neue Maschine für die zukunftsweisende Technologie „Spatial Atomic Layer Deposition“ (SALD) in Betrieb genommen. Lieferant ist das Start-up SALD BV, das sich dieser Technologie verschrieben und sich danach benannt hat. Es handelt sich dabei um ein Verfahren zum schnellen Auftragen von atomaren Beschichtungen in mehreren Lagen auf ein Substrat, um neue Materialeigenschaften zu erreichen.

Im universitären Labor kann die SALD-Produktion in unterschiedlichen Umgebungen getestet werden. Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten werden von Prof. Erwin Kessels geleitet, der an der Technischen Universität den Lehrstuhl für Angewandte Physik mit dem Schwerpunkt Plasma- und Materialverarbeitung innehat. „Mein Ziel sind Fortschritte bei der Atomic-Scale-Verarbeitung für Energie- und Informationstechnologien wie Photovoltaik und Nanoelektronik“, umreißt Prof. Erwin Kessels seine Forschungstätigkeit.

Die Auslieferung der neuen Maschine erfolgt im Rahmen einer umfassenden Kooperation zwischen der Universität und dem Technologie-Start-up. Diese ist Teil des Forschungsprojekts „Spatial Atomic Layer Deposition – More Materials, More Demand Applications“ der NWO Domain Applied and Engineering Sciences. Beim NWO (Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek) handelt es sich um die nationale niederländische Wissenschaftsorganisation. Anhand des Projekts sollten neue Anwendungsgebiete für SALD etwa in der Batterieforschung erschlossen werden.

Maschine von SALD von unschätzbarem Wert für die Forschung

Die Nutzung des von der SALD BV bereitgestellten Prototypen für Forschungs- und Entwicklungszwecke bewertet Projektmanager Dr. Bart Macco, Mitarbeiter im Labor von Prof. Erwin Kessels, ausgesprochen positiv: „Der Zugang zu diesem Labortool wird für den Erfolg des Projekts von unschätzbarem Wert sein. Wir können damit sehr schnell neue Prozesse, neue Materialien und neue Substrate testen.“ Bei der SALD-Maschine handelt es sich um ein für Forschung und Entwicklung optimiertes System, das leicht angepasst werden kann, um den Einfluss unterschiedlicher Faktoren auf den Prozess der „Spatial Atomic Layer Deposition“ zu untersuchen. Im Rahmen der Zusammenarbeit zwischen SALD BV und der Universität sorgt ein fortlaufender studentischer Austausch für einen nahtlosen Know-how-Transfer, der den Studierenden Einblick in die betriebliche Praxis einer Technologie-Schmiede ermöglicht.

Das Substrat „fliegt“ durch unterschiedliche Prozesszonen

Wesentliche Grundlagen für die Technologie der Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD), wie das Aufeinanderschichten atomarer Ebenen im Wissenschaftsjargon heißt, wurden von russischen und finnischen Wissenschaftlern in den 1960er bzw. 1970er Jahren geleistet. Obgleich schon in den 1980er Jahren patentiert, hält die räumliche ALD-Anwendung (Spatial Atomic Layer Deposition) erst seit der zweiten Hälfte der 2010er Jahre verstärkt wissenschaftliche Aufmerksamkeit. Ein entscheidender Vorteil von „Spatial Atomic Layer Deposition“ im Vergleich zum herkömmlichen ALD-Verfahren besteht in der höheren Geschwindigkeit. Bei Spatial ALD werden die Atomschichten viel schneller erzeugt, indem das Substrat durch verschiedene Zonen des Reaktors sozusagen geflogen wird, wobei jede Zone unterschiedliche Gase oder Reaktanten enthält. Das „Fliegen“ des Substrats ermöglicht eine schnellere Schichtabscheidung bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung der Genauigkeit. Der Geschwindigkeitsvorteil ist vor allem für den industriellen Einsatz von Bedeutung.

Frank Verhage, CEO der SALD BV, sagt: „Wir freuen uns sehr, mit unserer SALD-Maschine die wissenschaftliche Forschung und Entwicklung dieser Technologie zu unterstützen.“

SALD (www.spatialald.com) hat mit „Spatial Atomic Layer Deposition“ ein weltweit einzigartiges, patentiertes Verfahren entwickelt, im industriellen Maßstab Beschichtungen aufzutragen, die so dünn sind wie ein einziges Atom. Diese Atombeschichtungen werden ganze Industrien revolutionieren, darunter die Herstellung von Batteriezellen für Autos und Smart Devices, die Textilwirtschaft/Mode und die Solarenergiebranche.

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SALD BV, PO Box 520, 5600 AM Eindhoven, The Netherlands,
Tel.: +31 40 23 80 500 , E-Mail: info@spatialald.com,
Web: www.spatialald.com

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